マイクロフォーカス3次元X線CTシステム

摘要

A4サイズの大型基板でも非破壌で断層撮影ができるなど、高精度CT解析を実現する独自の3次元斜めCTシステムを初めて標準搭載した、汎用タイプのマイクロフォーカス3次元X線CTシステム。 　実装基板の接合部や基板内部を容易にCT解析ができることに加え、デジタルフラットパネルの採用で、歪みやノイズの少ない断層像を構築することが可能になった。また、生産現場への導入を想定し、操作デスクをなくしたことで、設置面積が従来の半分以下とい う大幅なコンパクト化を実現した。