990keVの電子ビームを発生するコンパクトな電子加速器を開発

摘要

三菱電機（株）は、本体外径15cm、重さ10kgとコンパク トながら990keVの電子ビームを発生し、発生点径10μm のX線の発生が可能な電子加速器『ラップトップ加速器』 を開発した。 近年、産業用の非破壊検査は厚い物体を対象とする用途 が拡大し、より高いエネルギーのX線を発生するコンパク トな装置が求められている。 しかし、X線源として一般的 なX線菅球は、印加する電圧に応じて絶縁の強化が必要な ことから、得られるX線エネルギーは300keV程度が限界 となる。