めつきプロセスの最適設計を支援するソフトウエアの販売を開始

摘要

みずほ情報総研（株）は、めっきプロセスの最適設計を支 援する高速解析ツール『FabMeister-EP』ver.3.0の販売 を開始した。 近年、エレクトロニクス分野における電子デバイスの微 細化、精密化、3次元化に伴い、理論に基づくプロセス設 計技術の重要性が高まっている。 そのため、同社では 2005年から、製造現場における装置設計、パターン設計、 パターンレイアウトなどのめっきプロセスの最適設計によ り、めっき膜厚分布の最適化に要する試作工程の削減が可 能な同ソフトウエアを提供してきた。