3次元半導体の現状とビジネスの取り組み

摘要

半導体製造技術の微細化の進展は、従来の2次元のデバイス?プロセスscalingに絶え間ない取り組みが続く一方、ここ数年、半導体を積層して3次元構成で高集積化、超小型化、高性能化、低電力化を目指す取り組みが活発になってきている。