X線自動検査装置

摘要

コンパクトでありながら幾何学倍率1,000倍を達成し、かつコストパフォーマンスが高いオフラインX線自動検査装置。特徴は下記の通り。①小型X線装置でありながら、幾何学倍率1,000倍を達成している、②同社の独自技術である『X線ステレオ方式』を採用したことで、裏面情報のキャンセルを実現、③フラットパネルが60°傾斜して観察することができ、しかも斜め観察であっても倍率が下がらない、④斜めからの観察にあたっては、観察位置を自動で追従する (カメラが傾斜してもポイントがずれない)、⑤各種測定機能付き、⑥オプションで検査機能を追加可能、⑦ターゲット?試料0.5mm、ターゲット?X線カメラ500mm:500/0.5=1000、幾何学倍率1,000倍を達成、など。