カーボンナノチューブのインプラントによる新たな配線作製技術を開発

摘要

独立行政法人産業技術総合研究所は、1次元ナノカーボン材料であるカーボンナノチューブ（CNT)を利用した新たな配線作製技術を開発した。従来のCNT配線技術では、大規模集積回路（LSI)の縦配線であるプラグ、あるいはビア配線を作製するために、基板に開けた配線用の微細な穴の底に堆積した触媒金属から、400℃程度の低温でCNTの束を合成して配線としていた。