X線ステレオ方式3次元X線検査装置

摘要

コンパクトでありながら、3D-X線ステレォ方式により、20層以上の多層基板ゃパヮーデバイスの2層はんだ分離検査を実現する、コストパフォーマンスが高いオフラインX線自動検査装置。特徴は、①同社独自の「X線ステレオ方式」、②BGAの裏面情報をキャンセル。「X線ステレオ方式」で実装基板の上面から下面までを100層にスライス。③幾何学倍率1000倍、④3種のCT方式(VCT、ななめCT、ステレオCT)を選択可能、など。