X線ステレオ方式3次元X線検查装置

摘要

コンパクトでありながら、3D-X線ステレォ方式により、20層以上の多層基板やパワーデバイスの2層はhだ分離検査を実現する、コストパフォーマンスが高いオフラインX線自動検査装置。特徴は①同社独自の「X線ステレオ方式」、②幾何学倍率1000倍、③3種のCT方式(V-CT、ななめCT、ステレオCT)を選択可能、など。