X線自動検査装置

摘要

コンパクトでありながら幾何学倍率1,000倍を達成し、かつコストパフォーマンスが高いオフラインX線自動検査装置。特徴は、?幾何学倍率1,000倍を達成している、②高解像度2μmのX線画像の取得が可能（図1)、③同社の独自技術である『X線ステレオ方式』を採用したことで、裏面情報のキャンセルを実現、?フラットパネルが60°傾斜して観察することができ、しかも斜め観察であっても倍率が下がらない、⑤オプションで自動検査機能を追加可能、など。