250℃対応のガス流量制御器を製品化。有機金属の安定供給が可能に

摘要

フジキン（野島新也社長）はこの度半導体製造工程での250℃の高温ガス対応のガス流量制御器「FCS－P」を製品化した。高誘電率ゲート絶縁膜材料の選定範囲の拡大が見込まれる。高誘電率材料は半導体素子の中核に用いられ、使用原料は常温ではガス体ではなく、液体か固体の状態で種類が多い。液体か固体をガス化して安定供給するためには高温250℃対応の流量制御器が必要であった。