新開発の3層メディアでさらに低圧損のパーティクルソリューション

摘要

半導体ガス用フィルター「NASclean」を中心に、ガスの供給から排気までのプロセスに最適なパーティクルソリューションを提案。メタル、ニッケル、ハステロイ、PTFEなど各種メディアを取り揃えたフィルターのフル ラインナップを展示する。