ナノ·マイクロファブリケーションにおける高分解能光計測技術：エバネッセント光を利用したナノ計測技術とその可能性

摘要

光学的計測技術は、被測定物にやさしい（非破壊で内部情報も取得可能）、真空環境が不要等のモノづくりを支援する計測技術として優れた特性を本質的に有していることから、今後の発展が期待されるナノ·マイクロファブリケーションにおいてもキーテクノロジーの一つとなると思われる。 本稿では、特にエバネッセント光に着目し、ナノ·マイクロファブリケーションにおけるエバネッセント光応用高分解能計測法の研究例を紹介した。 本稿で紹介したようにエバネッセント光は、従来の伝搬光にはないエネルギー局在性を有しており、今後、ますますの積極的な適用が期待される。