Трансформация структуры гальванического покрытия меди после воздействия плазмы тлеющего разряда

摘要

Исследовано воздействие плазмы тлеющего разряда в среде аргона на трансформацию структуры гальванического покрытия на медной подложке. Установлено, что основным эффектом трансформации структуры гальванического покрытия меди является укрупнение микроструктуры и изменение морфологии поверхности. Эффект сопровождается формированием нового зерна на границе раздела покрытие-подложка. При этом микроструктура подложки не меняется. По результатам текстурного анализа можно предположить, что ответственными за изменение структуры могут быть релаксационные процессы на стадии полигонизации, при которой происходят укрупнение блоков когерентного рассеяния (гальваническое покрытие), а также возврат (подложка). Показано, что усиление текстуры деформации медной подложки сопровождается снижением уровня макронапряжений. Изменения микронапряжений в гальваническом слое и в подложке не наблюдается.