Микро- и макрораспределение скоростей локального электроосаждения меди и серебра при использовании толстых полимерных масок

摘要

Показано, что при осаждении меди из стандартного электролита в широком интервале значений скоростей электроосаждения и толщин электроосажденных слоев (L ～ 0,13 - 0,5, где L - нормированная на толщину маски толщина электроосажденного слоя) наблюдается равномерность микро- и макрораспределения. В случае электроосаждения серебра из комплексных электролитов равномерность макрораспределения наблюдается только для малых толщин электроосаждаемых слоев (L ～0,13-0,35). При больших толщинах равномерность микро- и макрораспределения определяется гидродинамическими условиями. Показано, что толстая маска играет роль "выравнивающего агента", обеспечивающего равномерность распределения скоростей обработки.