КОЭФФИЦИЕНТЫ ОТНОСИТЕЛЬНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЕЙ ДЛЯ БЕЗЭТАЛОННОГО АНАЛИЗА ТВЕРДЫХ ВЕЩЕСТВ МЕТОДОМ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИИ ВТОРИЧНЫХ ИОНОВ

摘要

Масс-спектрометрическое исследование продуктов вторичной ионной эмиссии (МСВИ) является прямым методом анализа элементного и изотопного составов проводящих и непроводящих твердых тел. Как и другие методы масс-спектрометрического анализа, МСВИ также имеет определенные аналитические характеристики, заключающиеся в возможности установления однозначной связи между концентрацией анализируемого элемента и регистрируемым исходным сигналом.