Исследование и расчет статических и динамических характеристик пьезоактюатора нано- и микроперемещений

摘要

Рассчитаны статические и динамические характеристики пьезоактюатора нано- и микроперемещений для оборудования нанотехнологии и микроэлектроники, построена параметрическая структурная схема пьезоактюатора и определено влияние физических и геометрических параметров пьезоактюатора на его статические и динамические характеристики.