Методом лазерного испарения в вакууме с конденсацией паровой фазы на подогреваемых в интервале температур 200-1500°C поликристаллических молибденовых подложках получены вакуумные конденсаты оксида титана. Фазообразование в вакуумных конденсатах оксида титана и их микроструктура изучены методами рентгеновской и электронной дифракции, а также просвечивающей электронной микроскопии. Установлено, что фазообразование оксида титана в вакуумных конденсатах определяется температурой подложки (T_n: при T_n < 400°C образуется аморфный TiO_2 при более высоких значениях Т" оксид титана кристаллизуется в форме анатаза, который в интервале T_n = 700-900°C сосуществует с рутилом; при T_n > 900°C оксид TiO_2 существует только в форме рутила. Обнаружено, что при T_n < 1400°C лазерный метод испарения позволяет получать недефицитные по кислороду фазы TiO_2, а при T_n ≥ 1400°C в вакуумных конденсатах оксида титана образуются фазы Магнелпи. Более высокие Т_n приводят к образованию фаз, в которых совокупное соотношение количества атомов титана и кислорода не соответствует формульному соотношению TiO_2. Показано, что температура подложки и размер кристаллитов в вакуумных конденсатах оксида титана изменяются симбатно.
展开▼
