...
机译:扫描探针显微镜的扫描算法用线性运动的光学替代
Институт аналитического приборостроения РАН;
Институт аналитического приборостроения РАН;
Институт аналитического приборостроения РАН;
Институт аналитического приборостроения РАН;
Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий механики и оптики;
сканирующая зондовая микроскопия; оптические датчики линейных перемещений; микросканер; пространственное разрешение;