JIS B 9920-2「浮遊粒子数濃度による空気清浄度に関するクリーンルーム性能を根拠付けるためのモニタリング」

摘要

この規格は、クリーンルームまたはクリーンゾーンが、粒子数濃度による空気清浄度を維持し、十分に機能を発揮していることを保証するためのモニタリングについて規定している。対応国際規格はISO 14644-2:2015であるが、本JIS B 9920-2:2019の内容はISO規格とほとhど同一内容で作成された。具体的には、モニタリング計画の作成、実施、維持についてリスク評価に基づくことの他、校正、見直しと承認、データの許容レベル設定と逸脱への対応を規定することを述べている。さらに粒子数濃度による空気清浄度の定期的試験をJIS B 9920-1に基づき実施すると規定されている。適用範囲は、以下の3点に述べられている。①クリーンルームが空気清浄度を維持し、機能を発揮していることを保証するためのモニタリング計画に関し、最低限の必要事項を規定。②振動や一般設備の維持管理等は含まない。③0.1～5μm（規定粒径）以外は含まない。超微粒子（粒径0.1μm未満の粒子）のモニタリングについても規定していない。