PFCs等の排出量測定技術：PFCs等を含む排ガス測定技術の現状と課題

摘要

電子デバイス製造業界では、温室効果係数の高いPFCS等の排出削減対策が進hでいる。一方、その排出実態を正しく把握するために、各種機器からの排ガスの実測が求められている。本稿では現状取り組まれているPFCS等の排ガス分析例とその課題について述べる。