次世代超大型ガラス基板FPD工場の生産革命動向：電子部品製造工程からの有機排気ガスの処理方法

摘要

近年、地球環境保護を目的として様々な法律や条令が施工されており、有機溶剤を取り扱う生産工程では各規制への対応が必要になってきている。ここでは、半導体や電子部品の洗浄工程やフィルムコーティングなど有機溶剤を使用する生産工程からの有機排気ガスの処理方法の概要について説明する。