冷凍機用ポンプ流量制御システムによる半導体工場の省エネ：フロースマートで搬送動力が“半減！！”

摘要

冷凍機用ポンプ流量制御スステム（フロースマート）は冷凍機の冷水1次ポンプ及び冷却水ポンプを空調負荷に応じて流量制御することでポンプの搬送動力を大幅に削減できる。 これまで多くの導入実績を通じて安定性、安全性が確認されており、多くの省エネルギー化に貢献している。