パーティクル計測技術：空気中のパーティクル計測器

摘要

クリーンルームを評価する上で空気中のパーティクル計測は最も重要な要素であり、計測器として一般的にはパーティクルカウンター（光散乱式自動粒子計数器）が使用されている。 浮遊状態での個数濃度測定法及び適用範囲について、表1に示す。 表の備考欄にも記されているとおり電流計法は、低濃度条件（おおよそ500個／cm{sup}3以下）では使用が困難であり、クリーンルームの評価には適していない。 本稿では、この方法についての説明は割愛するが、JIS B 9921にも記されているように個数濃度の基準計測法として位置づけられている。