クリーンルームのモニタリングシステム：防災監視用途における現状

摘要

クリーンルームを構成する多岐の設備から、モニタリング情報を集約し、設備全体を総合的に防災監視するシステムについて、実施例をもとに概要と設計上の留意点など、その現状を紹介する。