精密分析用ウェーハ保管ボックスの開発 - コンタミネーションプリーを実現したウェーハ付着有機物分析用アルミニウム製ウェーハ保管ボックスの開発

摘要

半導体、液晶、ハードディスクドライブなどの現在のハイテク時代を代表する先端産業ではデバイスの微細化、高集積度化が進み、作業環境においてはその雰囲気をイオンや分子レベルでの汚染物制御が必要となっている。 例えばクリーンルーム中に存在する極微量のDBP (dibutyl phthalate)、DOP (di－octyl phthalate）などにより酸化膜の耐圧不良、成膜異常などを招くことが知られている。 そこで、この問題を解決した持ち運びの容易なアルミニウム製ウェーハ保管ボックスを開発したので、その概略を紹介する。