半導体工場のエネルギー消費量変動要素：システム構成機器とエネルギー消費量変動要素の関係

摘要

地球温暖化防止対策として、半導体工場に対しても省エネルギーは、必要不可欠となっている。 この半導体工場の省エネルギーを進めるにあたっては、まずエネルギー消費量の変動要素が、クリーンルーム·付帯設備のどこにあり、また何に影響されるのか洗い出す必要がある。 本稿では、これらの関係をわかりやすい表にまとめ、それぞれの項目について簡単な例を用いて解説する。