粒径0.1μm未満の粒子の清浄度管理：スーパークリーンルーム中に0.1μm未満の粒子はなぜ存在するか？

摘要

近年ICの高密度化により管理対象粒子径はより小さくなり、0.05μm以下の粒子も対象となっているのが現状である。 また、ISO 14644-1にも参考(informative) としてであるが附属書Fに0.1μm未満の粒子について規定されている。 この規定の詳細については後述する。 本稿ではクリーンルーム中の粒径分析データをふまえ、0.1μm未満の粒子の存在する原因について言及し、その原因から管理について述べる。