わかりやすく学べるクリーンルームの基礎と汚染対策 第33回 対策－各論［ケミカル汚染物質］（その14）

摘要

前回（第32回）は、フィールド実測に基づくケミカルフィルタ（以下、CF）の寿命予測（余命予測）について考察を始めた。今回（第33回）は、その内容を継続して扱う。