わかりやすく学べるクリーンルームの基礎と汚染対策 第30回 対策－各論［ケミカル汚染物質］（その11）

摘要

前回（第29回）は、ケミカルフィルタ（以下、CF）によるケミカル汚染物質の捕集原理、CFの評価に言及し、さらにCFの寿命予測の内容に入ったところであった。今回（第30回）以降は、主にCFの寿命予測を中心に解説を進める。