クリーンルームにおけるガス検知器：クリーンルームで使用されるガス検知器の最新技術について

摘要

半導体関連工場内のクリーンルームにおけるガス検知器について、最新のスマートタイプ定置型ガス検知器及びポータブル吸引式毒性ガスモニターについて紹介する。