ミニマル集光型CVD炉

摘要

これまで常識とされてきたCVD装置構成要件をミニマルファブ構想に基づきゼロベースで考え直し、安全性を十分に確保しつつ、装置小型化、資源·電力使用量最小化を目標として開発を進めている。その現状を紹介する。