微小空間の気中分子状汚染評価ツールの開発：フォトマスクーペリクル空間のAMC評価ツールの開発

摘要

フォトマスクとペリクルで囲まれた微小空間内の気中分子汚染を評価することはヘイズの発生過程を評価するうえで重要である。今回我々は、高感度固体吸着アクティブサンプラーを用いて微小空間内の気中分子状汚染を評価するツールを開発したので紹介する。