クリーンルームの総合的分子汚染対策①：クリーンルーム建設全体計画の観点から

摘要

半導体、HDD、シリコンウエハ製造等に代表される電子産業用クリーンルームにおいて、それら製品類の高性能化に伴い製品製造においての大きな不良要因の一つとして気中化学成分による汚染(AMCS: Airborn Molecular Contaminants)が注目され、これを防止するためのクリーンルームの化学的な環境制御が実施されだして久しい。