クリーンルームの蒸気レス化と廃熱利用：蒸気を利用しない加熱·加湿システムと廃熱利用について

摘要

消費エネルギーの削減、CO_2排出の抑制が求められる中で、クリーンルームにおけるシステムの効率化、廃熱回収などの省エネルギーは重要なテーマである。本稿では省エネルギーの例として、蒸気を利用しない加熱·加湿システムと廃熱利用について紹介する。