シリコン表面におけるオクタノール分子の吸着離脱挙動：多成分系有機物吸着汚染モデルにおける定数決定法と適用例

摘要

多成分系有機物吸着汚染モデルを用いてシリコン表面における有機物汚染挙動を記述するため、有効最大吸着表面濃度と吸着·脱離速度定数を体系的に決定する方法を提案する。 併せて、その方法をオクタノールの吸着·脱離速度定数の決定に適用した例を紹介する。