光照射式静電気除去装置の特徴と役割：VUVイオナイザが可能にする減圧下での除電

摘要

半導体製造工程において、減圧下での静電気対策は重要なテーマとなっている。各種工程での静電気発生による問題は粒子汚染促進、放電発生、搬送エラー発生等の広範囲にわたり、製品歩留まりの低下の原因として考えられているとともに、問題解決のための設備ダウンタイム発生も大きな損失となっている。そのため、静電気障害を防止するために様々な対策が検討されているが、その中でもイオナイザと呼ばれる静電気除去装置を用いることで、静電気の除去·中和を行う方式に注目が集まっている。一般的にイオナイザは大別して、針状電極でのコロナ放電によってイオンを発生させるコロナ放電式イオナイザと、軟X線や真空紫外線の電離作用によりイオンを発生させる光照射式イオナイザの2種類がある。