微差圧を手軽に電気信号に：微差圧センサ

摘要

たとえば、送風機のフィルタの目詰まりを検出しようとすると、フィルタの前後での圧力を測り、この差（差圧）を測る必要がある。 マイクロマシニング技術により作られた、半導体圧力センサは、こうした用途に適した微差圧センサをプリント基板上に実装することが可能なほど小型化する車を可能にした。 さらに、センサとして必要な温度補償回路や増幅回路を内蔵することにより、差圧計測を手軽に行うことができる。