PZT薄膜装荷CPWのバイアス電圧印加特性に関する基礎検討

摘要

アルミナ基板上に強誘電体材料の1つであるPZTを2μm程度塗布し、その上に1μm厚の金の蒸着およびエッチングにより構成したコプレーナ線路(CPW)を作成した。 そして、この伝送線路の反射·透過係数および30～50Vの直流バイアス電圧印加時の位相変化特性を測定した。 その結果、たとえば50V印加時において8GHzにて18deg程度の位相の変化が確認でき、このような構造に対するマイクロ波帯での基本的な入出力特性を把握した。