ウィスパリングギャラリー共振器を用いた銅箔挟込誘電体基板と両面銅箔誘電体基板のミリ波帯実効導電率測定と比較による精度向上

摘要

ミリ波帯で両面銅貼基板の複素誘電率測定法として，波長の20-40倍の直径、波長程度の厚さのウィスパリングギャラリー(WG)共振器法が提案されている。 一つの共振器に対し一度に多くの周波数での測定できることが特長である。 本報告では、銅箔挟込誘電体基板と両面銅箔誘電体基板の導電率の測定結果を示す。 同一周波数帯での異なる測定法による比較が現在難しいため，異なった電磁界分布，構造のWG共振器を使用し測定結果を比較して本方法の測定精度の向上を検討する．40-65GHzの帯域で測定し，電解銅箔の導電率は50％～70％で、圧延銅箔の導電率は60％～80％の測定結果を得られた。 2種類の共振器を用いた導電率の測定結果の差は電解銅箔が7％、両面光沢圧延銅箔が5％、圧延銅箔が2％以下になった。 銅箔挟込タイプの導電率測定結果のばらつきが15％に対して、両面銅貼タイプは誘電体厚さが1.6mmのとき、導電率の測定結果のばらつきが10％で、誘電体厚さが0.8mmのとき、ばらつきが6％であった。