LSIマスクパターンに対する近似文字列照合に基づくホットスポット検出手法の高速化

摘要

超微細LSI製造においてはマスクパターン上にLSIの故障を引き起こすパターンであるホットスポットが存在する．ホットスポットは光学シミュレーションにより検出するが，長時間を要するため，ホットスポット候補の効率的検出手法の開発が望まれる．既存研究において，1次元パターンの照合手法である類似部分文字列検索を応用したホットスポット候補検出手法が提案されている．この手法では，一般的に用いられるテンプレートマッチング手法に比べ，柔軟な検出が期待できる一方，類似部分文字列検索で使用する編集距離行列の計算に時間を要する．そこで本研究では，事前計算結果のテーブル参照による要素計算と，複数要素の同時計算を組み合わせて，編集距離行列の計算を高速化した．既存手法との比較実験により，既存手法の約11分の1の計算時間の達成を確認した．