ПОЛУЧЕНИЕ ОБЪЕМНЫХ ОБРАЗЦОВ ＩＴＯ-КЕРАМИКИ ВЗРЫВНЫМ КОМПАКТИРОВАНИЕМ И СПЕКАНИЕМ НАНОПОРОШКОВ

摘要

Ультрацлотные ITO (оксид индия с добавкой олова) керамические мишени являются необходи-мым материалом в производстве оптико-электрических пленок способом распыления. Трудность изготовления мишеней состоит в том, что при высокой температуре ITO-керамика распадается. В данной работе коммерческие нанопорошки ITO-керамики использованы для взрывного ком-пактирования в двух различных сборках и с различными взрывчатыми веществами. Согласно данным эксперимента скорость ударной волны должна быть меньше 4000 м/с, а ударное дав-ление больше 6 и даже 12 ГПа для того, чтобы получить хорошую консолидацию. Образцы быстро спекались при высокой температуре после ударной обработки. С помощью дифферен-циального термического анализа была определена наиболее подходящая температура спекания ITO-образцов после взрывного компактирования - ≈1000 °C. Изображения образцов, полу-ченные на сканирующем электронном микроскопе, показали, что ITO-керамика распадалась и сублимировалась при высокой температуре. Измерены коэффициенты расширения: для образ-цов, спеченных при температуре 1000 °C, α_l=7.81·10~(-6) К~(-1), при температуре 900 °C - α_l - 8.8·10~(-6) К~(-1); для коммерческих образцов, полученных горячим изостатическим прессова-нием, α_l=6.89·10~(-6) К~(-1).