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Mathematical model for RF plasma treatment of materials in dynamic vacuum conditions

机译:动态真空条件中材料射频血浆处理的数学模型

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摘要

A mathematical model of the process of rare gas RF-plasma treatment of solids in dynamic vacuum conditions has been presented. On the base of the results of calculations of characteristics of positive charged layer formed near the treated solid as well as characteristics of quasi-neutral plasma into a discharge volume, this model allows to calculate the main characteristics of the process (ion energy, ion current density) depending on discharge conditions, type and configuration of RF-plasma gun.
机译:介绍了一种动态真空条件下固体稀有气体RF等血浆处理方法的数学模型。 在处理固体附近形成的正电压层的特性的结果的基础以及准中性等离子体的特性进入放电体积,该模型允许计算该过程的主要特性(离子能量,离子电流 密度)取决于RF等离子枪的放电条件,类型和配置。

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