空中超音波共振法を用いた片面非接触厚さ計測

摘要

空中超音波による共振法で試験体の厚さを非接触で計測した。高感度の空中超音波探触子で試験体に超音波を送信し、共振が発生した時の受信信号の周波数から試験体の厚さを計算した。共振は探触子と試験体との距離を変えた時に変化した。溝がある試験体を計測すると超音波の入射面と平行な部分ごとに共振が発生し、複数の厚さが計測された。