イオン注入機の歴史と当社の取り組み

摘要

日新イオン機器株式会社は設立以来、半導体デバイス製造用の中電流イオン注入装置の製造販売を主たるビジネスとしている。EXCEEDシリーズは、その装置基本コンセプトの優秀性によって、また日々進化する顧客ニーズに対応した新機種を提供しつづけることによって主要デバイスメーカに広く受け入れられて来ている。本稿ではEXCEEDシリーズにおけるシステム性能の向上及びそれを支える要素技術の進化を概説し、今後を展望する。