Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов

摘要

В результате анализа взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка показано, что рассеяние частиц происходит на углы 136,8°-173,2°, а эффективное дифференциальное сечение рассеяния составляет 0,4-1,8 Тб. Траектории движения частиц представляют собой кольца, расположенные у обрабатываемой поверхности в зоне, толщина которой приблизительно равна среднему радиусу зерна полировального порошка.