铈氧化物粒子的液体悬浮液和粉末、其制备方法及其在抛光中的用途

摘要

本发明涉及铈氧化物粒子的悬浮液，其中该粒子(二级粒子)具有不超过200纳米的平均尺寸，所述二级粒子由平均尺寸不超过100纳米且标准偏差值不超过所述平均尺寸值的30％的初级粒子构成。这种悬浮液由包含铈IV或过氧化氢的铈III盐溶液制成，使该溶液在硝酸根离子存在下在惰性气氛中与碱接触；将由此获得的介质在惰性气氛中热处理，然后酸化和洗涤。通过该悬浮液的干燥和煅烧获得粉末。该悬浮液和粉末可用于抛光。