低照度環境下におけるリアルタイム撮像を可能にしたIMEACTRON技術

摘要

IMPACTRONは、光電変換された信号電荷（電子）をシリコン中で加速衝突させ二次電子増倍（インパクトイオン化）する固体撮像素子である。 信号電荷は電圧変換前に直接増倍されるため、電荷検出部のノイズ割合を相対的に低減する効果を有する。これにより読み出し速度を落とすことなく実用的なS/Nを確保し、低照度環境下におけるリアルタイム撮像を可能にした。 本稿ではIMPACTRONの動作原理とその検証のために用いた1/3インチフレムトランスファー型CCD「TC253SPD」の設計概要について述べる。 また、ノイズ成分の測定·解析結果、さらに低照度環境下の撮像性能についても述べる。