クリーンルームおょび関連ずる制御環境空気中の有機物質の基板表面暴露方法による測志方法

摘要

この附属書は、クリーンルームおよび関連する制御環境空気中の分子状汚染物質（Airborrle Molecular Contaminant；AMC）のうち、基板表面に吸着する凝縮性有機物質（Condensables）の測定方法について規定する。 この附属書で用いる主な用語の定義は、JIS K 0114（ガスクロマトグラフ分析通則）、JIS K 0123（ガスクロマトグラフ質量分析通則）、JIS K 0211（分析化学用語（基礎部門））、JIS K 0214（分析化学用語（クロマトグラフィー部門））、JIS Z 8122（コンタミネーションコントロール用語）及びJIS Z 8402（分析·試験の許容差通則）による。 凝縮性有毒幾物質とはウエハなどの清浄な表面に液化凝縮する可能性がある有機化合物群であi）、大気圧において沸点が室書見より高い化合物である。