プラズマイオン注入法によるDLC膜の合成

摘要

イオンビーム成膜技術は，イオンビームのもつエネルギーを利用することにより，cBN，DLCなどの非平衡物質の合成に有効な手法の一つである。しかし，現状技術では，工具，エンジン部品，各種しゅう動部材などの機械部品へ適用する場合，容易に均一に成膜することはできない。これは，イオンビームは強い指向性を有するため，各処理表面においてイオンの入射角が変化し，イオン注入，スパッタ効果に起因する成膜速度や膜質の変化が生じ，均一な膜質や密着性を確保することが困難なためである。