CdTeを用いた二次元画像検出器の開発

摘要

現在までに非破壊検査及び異物検査用のX線検出器としてX線フィルムやシンチレーターが利用されてきた。 一方、化合物半導体であるテルル化カドミウム(CdTe)は、室温動作が可能であることや高い検出効率、高いエネルギー分解能をもつことから、次世代のX線検出器として注目を集めている。我々は、次世代検出器としてCdTeを用いた直接変換型の二次元画像検出器を開発し基本的性能評価および画像撮影を行った。